1600°C Vácuo Atmosfera Tube Forno Sistema CVD

DESCRIÇÃO

O sistema CVD de forno de tubo de vácuo/atmosfera de 1600°C (CVD-TF) fornece um ambiente experimental com vácuo, atmosfera controlável e alta temperatura, e é usado em semicondutores, nanotecnologia, fibra e outros campos. Este sistema de crescimento CVD é adequado para o processo CVD, como revestimento de carboneto de silício, teste de condutividade de substrato cerâmico, crescimento controlável de nanoestrutura de ZnO, sinterização de atmosfera de capacitor cerâmico (MLCC) e outros experimentos.

RECURSOS

1. O forno é feito de adsorção a vácuo de fibra de mulita policristalina, o campo de temperatura é uniforme e a economia de energia é superior a 50%

2. A tecnologia autodesenvolvida de desvio de ar e isolamento térmico garante a vida útil e o efeito de temperatura constante de cada componente na caixa

3. Quando o forno elétrico é iniciado, o exaustor funcionará automaticamente ao mesmo tempo. Após o teste, o exaustor continuará funcionando até que a temperatura do corpo do forno seja inferior a 60 °C, e o exaustor irá parar automaticamente, o que protege efetivamente a superfície do corpo do forno.

4. A porta do forno é aberta com desligamento automático, função de proteção contra temperatura excessiva e função de proteção contra vazamento para garantir a segurança do uso.

5. O circuito adota modo de saída de aquecimento contínuo, fonte de alimentação de circuito duplo e fiação separada de corrente forte e fraca melhora a estabilidade do sistema

6. O módulo de aquecimento adota sinal DC para ajustar a potência de saída, o que evita a interferência de eletricidade induzida no sinal de controle.

7. Botões de metal de baixa tensão são usados para botões de operação, com luzes indicadoras de status, operação segura e intuitiva.

8. Os corpos superior e inferior do forno são conectados por plugues de aviação, que são seguros, confiáveis e convenientes de conectar.

9. O conjunto do circuito de gás é feito de aço inoxidável 316 de qualidade alimentar, que tem resistência à corrosão, resistência à corrosão atmosférica e resistência a altas temperaturas, e não é magnético.

10.Adote o instrumento de exibição de fluxo digital, coopere com o controlador de fluxo de massa, colete dados e controle o fluxo. Tem as características de boa repetibilidade, velocidade de resposta rápida, estabilidade e confiabilidade. (Sistema de controle de fluxo de massa de gás)

11.Controle automático e função de comutação de controle manual, o modo de controle automático pode abrir/fechar automaticamente a bomba de vácuo através do valor definido, de modo que o recipiente possa ser mantido dentro de uma certa faixa de pressão de vácuo. O modo de controle manual usa o usuário para operar diretamente a bomba de vácuo por meio do botão liga/desliga da bomba de vácuo. para atender às necessidades de diferentes experimentos. (Sistema de controle de vácuo médio)

12. A tecnologia de início lento da válvula solenóide faz com que a válvula solenóide abra 10 segundos após a bomba de vácuo ser ligada, de modo que a pressão do sistema no tubo do forno seja mantida precisa e também garante que o gás de exaustão não retorne ao forno sistema de tubo para afetar o efeito experimental (sistema de controle de vácuo médio)

13. Alarme de superaquecimento, bloqueio de menu, prevenção de superaquecimento, atraso na recuperação de energia.

14.Usando tecnologia de válvula unidirecional, o fluxo de gás é controlado dentro de uma faixa de pressão controlável para garantir a segurança.

15. O dispositivo de tanque de mistura de gás é adotado, de modo que o gás possa ser introduzido na sala de trabalho após ser totalmente misturado para garantir que não haja vazamento.

ESPECIFICAÇÕES