1400℃ Sistema CVD de Fornalha de Tubos de Atmosfera a Vácuo

1400℃ Sistema CVD de Fornalha de Tubos de Atmosfera a Vácuo
Fornece um ambiente experimental com vácuo, atmosfera controlada e alta temperatura. Este sistema de crescimento CVD é adequado para processos CVD, como revestimento de carboneto de silício, teste de condutividade de substrato cerâmico, crescimento controlado de nanoestruturas de ZnO e experimentos de sinterização em atmosfera MLCC.
  • ModeloCVD-LTF14P/ CVD-LTF14T Series
  • MarcaLABOAO
  • PortaQualquer porto na China
  • PacotePacote de caixa de madeira compensada
Forma de pagamento Também suportamos L / C, D / D, D / P, Western Union, MoneyGram, Descobrir pagamentos para pedidos offline.


DESCRIÇÃO

Fornece um ambiente experimental com vácuo, atmosfera controlada e alta temperatura.

Este sistema de crescimento CVD é adequado para processos CVD, como revestimento de carboneto de silício, teste de condutividade de substrato cerâmico, crescimento controlado de nanoestruturas de ZnO e experimentos de sinterização em atmosfera MLCC.

RECURSOS

1. O forno é feito de adsorção a vácuo de fibra de mulita policristalina, o campo de temperatura é uniforme e a economia de energia é superior a 50%

2. A tecnologia de desvio de ar e isolamento térmico garante a vida útil e o efeito de temperatura constante de cada componente na caixa

3. Inicie o forno elétrico e o exaustor funcionará automaticamente ao mesmo tempo. Após o teste, o exaustor continuará funcionando até que a temperatura do corpo do forno seja inferior a 60 °C, e o exaustor irá parar automaticamente, o que protege efetivamente a superfície do corpo do forno.

4. Desligamento automático, função de proteção contra temperatura excessiva, função de proteção contra vazamento para garantir a segurança do uso

5. O circuito adota o modo de saída de aquecimento contínuo, fonte de alimentação de circuito duplo e fiação separada de corrente forte e fraca melhora a estabilidade do sistema

6. O módulo de aquecimento adota sinal DC para ajustar a potência de saída, o que evita a interferência de eletricidade induzida no sinal de controle.

7. Compensação automática para o efeito de controle de temperatura causado pela temperatura ou envelhecimento na mudança do valor de resistência da haste de carboneto de silício, evitando imprecisão e perigo de ajuste artificial

8. Adote um instrumento de exibição de fluxo digital, coopere com o controlador de fluxo de massa, colete dados e controle o fluxo. Tem as características de boa repetibilidade, velocidade de resposta rápida, estabilidade e confiabilidade. (Sistema de controle de fluxo de massa de gás)

9. Função de comutação de controle automático e controle manual, o modo de controle automático pode ligar/desligar automaticamente a bomba de vácuo através do valor definido para manter o recipiente dentro de uma certa faixa de pressão de vácuo. O modo de controle manual usa o usuário para operar diretamente a bomba de vácuo por meio do botão liga/desliga da bomba de vácuo. para atender às necessidades de diferentes experimentos. (Sistema de controle de vácuo médio)

10 Tecnologia de início lento da válvula solenóide, para que a válvula solenóide seja aberta 10 segundos após a bomba de vácuo ser ligada, para que a pressão do sistema no tubo do forno seja mantida precisa e também garante que o gás de exaustão não retorne ao sistema de tubo de forno para afetar o efeito experimental (sistema de controle de vácuo médio)

ESPECIFICAÇÕES

Modelo

CVD-LTF14P40

CVD-LTF14P50

CVD-LTF14P60

CVD-LTF14P80

CVD-LTF14T40

CVD-LTF14T50

CVD-LTF14T60

CVD-LTF14T80

Faixa de temperatura operacional

300~1400

Resolução de temperatura

1

Controle de temperatura

± 1

Taxa de aquecimento

0~20/min

Comprimento da zona de aquecimento

200mm

400mm

Comprimento da zona de temperatura   constante

70mm

140mm

grau de vácuo

-0.1MPa

Tempo de aquecimento do forno vazio

≤15min

Taxa de aquecimento ao configurar o   tubo do forno

Abaixo de 500 ≤5/min;   500-1000≤10/min; 1000-1200≤5/min; 1000-1400≤2/min

Exterior

Chapa de aço laminada a frio com   revestimento resistente a produtos químicos na superfície

corpo do forno

Fibra Mulita Policristalina

Tamanho do forno

360*350*350mm

560*350*350mm

tubo do forno

Tubo de   corindo

Tamanho do tubo do forno

Φ40/34*1000

Φ50/44*1000

Φ60/50*1000

Φ80/70*1000

Aquecedor

Barra de carboneto de silício

Potência de aquecimento

3KW

5KW

Camada de isolamento térmico

Desvio de ar forçado de camada dupla

caminho aberto

Não

Controlador

P: Visor digital de controle de   temperatura do programa importado; T: controle de temperatura do programa de   tela sensível ao toque colorida de 7 polegadas

Método de controle

Usando o controle PID do microcomputador

Como definir

P: toque em cinco botões para ação,   configuração de exibição digital; T: Toque com o dedo e toque para definir

Método de exibição

P: Display digital LED de linha dupla;   T: Visor LCD a cores

Cronometragem

0~999,9 horas

Executar função

Operação de valor fixo, operação de   programa

Modo de programa

P: Programa rodando, 4 curvas,   totalizando 40 passos; T: 50 passos podem chamar o programa armazenado

Sensor

termopar tipo S

função auxiliar

P: Função de correção; T: função de   correção, gravação de curva em tempo real, exportação de dados de disco U

Equipamento de segurança

Interruptor de proteção contra   vazamento de sobrecorrente

Número de caminhos de ar

3 canais (o número de canais de ar   pode ser selecionado de acordo com necessidades específicas)

Faixa de fluxo

0-0500sccm (padrão ml/min, opcional)   padrão de nitrogênio

Precisão

±1% F.S

Tempo de resposta

≤4s

Temperatura de operação (medidor de   vazão)

5-45

Pressão do trabalho

Pressão de entrada 0,05-0,3MPa   (pressão manométrica)

Conexão do sistema

Adote fole de conexão rápida KF,   válvula manual de alto vácuo e instrumento de medição de vácuo com visor   digital

Faixa de vácuo do sistema

10-100Pa

Bomba de vácuo

O grau de vácuo final teórico da bomba   mecânica de dois estágios é 3x10-1Pa, a taxa de bombeamento é 4L/s, a saída   de ar é equipada com um filtro de óleo, a tensão nominal é 200V e a potência   é 0,55Kw

Configuração do sistema CVD

Forno de tubo de vácuo de 1400 graus   Sistema de controle de fluxo de massa multicanal Sistema de vácuo

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