1600°C Vácuo Atmosfera Tube Forno Sistema CVD

1600°C Vácuo Atmosfera Tube Forno Sistema CVD
O sistema CVD de forno de tubo de vácuo/atmosfera de 1600°C (CVD-TF) fornece um ambiente experimental com vácuo, atmosfera controlável e alta temperatura, e é usado em semicondutores, nanotecnologia, fibra e outros campos. Este sistema de crescimento CVD é adequado para o processo CVD, como revestimento de carboneto de silício, teste de condutividade de substrato cerâmico, crescimento controlável de nanoestrutura de ZnO, sinterização de atmosfera de capacitor cerâmico (MLCC) e outros experimentos.
  • ModeloCVD-LTF16P/ CVD-LTF16T Series
  • MarcaLABOAO
  • PortaQualquer porto na China
  • PacotePacote de caixa de madeira compensada
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DESCRIÇÃO

O sistema CVD de forno de tubo de vácuo/atmosfera de 1600°C (CVD-TF) fornece um ambiente experimental com vácuo, atmosfera controlável e alta temperatura, e é usado em semicondutores, nanotecnologia, fibra e outros campos. Este sistema de crescimento CVD é adequado para o processo CVD, como revestimento de carboneto de silício, teste de condutividade de substrato cerâmico, crescimento controlável de nanoestrutura de ZnO, sinterização de atmosfera de capacitor cerâmico (MLCC) e outros experimentos.

RECURSOS

1. O forno é feito de adsorção a vácuo de fibra de mulita policristalina, o campo de temperatura é uniforme e a economia de energia é superior a 50%

2. A tecnologia autodesenvolvida de desvio de ar e isolamento térmico garante a vida útil e o efeito de temperatura constante de cada componente na caixa

3. Quando o forno elétrico é iniciado, o exaustor funcionará automaticamente ao mesmo tempo. Após o teste, o exaustor continuará funcionando até que a temperatura do corpo do forno seja inferior a 60 °C, e o exaustor irá parar automaticamente, o que protege efetivamente a superfície do corpo do forno.

4. A porta do forno é aberta com desligamento automático, função de proteção contra temperatura excessiva e função de proteção contra vazamento para garantir a segurança do uso.

5. O circuito adota modo de saída de aquecimento contínuo, fonte de alimentação de circuito duplo e fiação separada de corrente forte e fraca melhora a estabilidade do sistema

6. O módulo de aquecimento adota sinal DC para ajustar a potência de saída, o que evita a interferência de eletricidade induzida no sinal de controle.

7. Botões de metal de baixa tensão são usados para botões de operação, com luzes indicadoras de status, operação segura e intuitiva.

8. Os corpos superior e inferior do forno são conectados por plugues de aviação, que são seguros, confiáveis e convenientes de conectar.

9. O conjunto do circuito de gás é feito de aço inoxidável 316 de qualidade alimentar, que tem resistência à corrosão, resistência à corrosão atmosférica e resistência a altas temperaturas, e não é magnético.

10.Adote o instrumento de exibição de fluxo digital, coopere com o controlador de fluxo de massa, colete dados e controle o fluxo. Tem as características de boa repetibilidade, velocidade de resposta rápida, estabilidade e confiabilidade. (Sistema de controle de fluxo de massa de gás)

11.Controle automático e função de comutação de controle manual, o modo de controle automático pode abrir/fechar automaticamente a bomba de vácuo através do valor definido, de modo que o recipiente possa ser mantido dentro de uma certa faixa de pressão de vácuo. O modo de controle manual usa o usuário para operar diretamente a bomba de vácuo por meio do botão liga/desliga da bomba de vácuo. para atender às necessidades de diferentes experimentos. (Sistema de controle de vácuo médio)

12. A tecnologia de início lento da válvula solenóide faz com que a válvula solenóide abra 10 segundos após a bomba de vácuo ser ligada, de modo que a pressão do sistema no tubo do forno seja mantida precisa e também garante que o gás de exaustão não retorne ao forno sistema de tubo para afetar o efeito experimental (sistema de controle de vácuo médio)

13. Alarme de superaquecimento, bloqueio de menu, prevenção de superaquecimento, atraso na recuperação de energia.

14.Usando tecnologia de válvula unidirecional, o fluxo de gás é controlado dentro de uma faixa de pressão controlável para garantir a segurança.

15. O dispositivo de tanque de mistura de gás é adotado, de modo que o gás possa ser introduzido na sala de trabalho após ser totalmente misturado para garantir que não haja vazamento.

ESPECIFICAÇÕES

Modelo

CVD-LTF16P50

CVD-LTF16P60

CVD-LTF16P80

CVD-LTF16P100

CVD-LTF16P60S

CVD-LTF16P80S

CVD-LTF16P100S

CVD-LTF16T50

CVD-LTF16T60

CVD-LTF16T80

CVD-LTF16T100

CVD-LTF16P60S

CVD-LTF16T80S

CVD-LTF16T100S

Faixa de temperatura operacional

300~1600

Resolução de temperatura

1

Controle de temperatura

± 1

Taxa de aquecimento

0~20/min

Comprimento da zona de aquecimento

260mm

600mm

Comprimento da zona de temperatura   constante

120mm

300mm

grau de vácuo

-0.1MPa

Tempo de aquecimento do forno vazio

15min

Exterior

Chapa de aço laminada a frio com   revestimento resistente a produtos químicos na superfície

corpo do forno

Fibra Mulita Policristalina

Tamanho do forno

440*390*330

780*390*330

tubo do forno

Tubo de corindo

Tamanho do tubo do forno

φ50*1000

φ60*1000

φ80*1000

φ100*1000

φ60*1200

φ80*1200

φ100*1200

Aquecedor

haste de silício molibdênio

Potência de aquecimento

4KW

4KW

10KW

10KW

Camada de isolamento térmico

Desvio de ar forçado de camada dupla

Controlador

P: Visor digital de controle de temperatura   do programa importado; T: controle de temperatura do programa de tela   sensível ao toque colorida de 7 polegadas

Método de controle

Use controle PID de microcomputador /   controle de temperatura separado de zona de temperatura dupla tipo S

Como definir

P: Toque nos cinco botões para ação,   configuração do display digital; T: Toque com o dedo para definir

Método de exibição

P: Display digital LED de linha dupla;   T: Visor LCD a cores

Cronometragem

0~999,9 horas

Executar função

Operação de valor fixo, operação de   programa

Modo de programa

P: Programa rodando, 4 curvas, 40   passos no total; T: 50 passos podem chamar o programa armazenado

Sensor

termopar tipo S

função auxiliar

P: Função de correção; T: função de   correção, gravação de curva em tempo real, exportação de dados de disco U

Equipamento de segurança

Interruptor de proteção contra vazamento de sobrecorrente

Interruptor de proteção contra sobrecorrente

Número de caminhos de ar

3 canais (o número de canais de ar   pode ser selecionado de acordo com necessidades específicas)

Faixa de fluxo

0-0500sccm (padrão ml/min, opcional)   padrão de nitrogênio

Precisão

±1% F.S

Tempo de resposta

≤4s

Temperatura de operação (medidor de   vazão)

5-45

Pressão do trabalho

Pressão de entrada 0,05-0,3MPa   (pressão manométrica)

Conexão do sistema

Adote fole de conexão rápida KF,   válvula manual de alto vácuo e instrumento de medição de vácuo com display   digital

Faixa de vácuo do sistema

10-100Pa

Bomba de vácuo

O grau de vácuo final teórico da bomba   mecânica de dois estágios é 3x10-1Pa, a taxa de bombeamento é 4L/s, a saída   de ar é equipada com um filtro de óleo, a tensão nominal é 200V e a potência   é 0,55Kw

Configuração do sistema CVD

Forno de tubo de vácuo de 1600 graus   (zona de temperatura única opcional, zona de temperatura dupla) Sistema de   controle de fluxo de massa multicanal Sistema de vácuo

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