Forneça um ambiente experimental com vácuo, atmosfera controlável e alta temperatura, usado em semicondutores, nanotecnologia, fibra de carbono e outros campos.
Este sistema de crescimento CVD é adequado para processos CVD, como revestimento de carboneto de silício, teste de condutividade de substrato cerâmico, crescimento controlado de nanoestruturas de ZnO e experimentos de sinterização em atmosfera MLCC.
1. O forno é feito de adsorção a vácuo de fibra de mulita policristalina, o campo de temperatura é uniforme e a economia de energia é superior a 50%
2. A tecnologia autodesenvolvida de desvio de ar e isolamento térmico garante a vida útil e o efeito de temperatura constante de cada componente na caixa
3. Quando o forno elétrico é iniciado, o exaustor funcionará automaticamente ao mesmo tempo. Após o teste, o exaustor continuará funcionando até que a temperatura do corpo do forno seja inferior a 60 °C, e o exaustor irá parar automaticamente, o que protege efetivamente a superfície do corpo do forno.
4. A porta do forno é aberta com desligamento automático, função de proteção contra temperatura excessiva e função de proteção contra vazamento para garantir a segurança do uso.
5. O circuito adota modo de saída de aquecimento contínuo, fonte de alimentação de circuito duplo e fiação separada de corrente forte e fraca melhora a estabilidade do sistema
6. O módulo de aquecimento adota sinal DC para ajustar a potência de saída, o que evita a interferência de eletricidade induzida no sinal de controle.
7. Botões de metal de baixa tensão são usados para botões de operação, com luzes indicadoras de status, operação segura e intuitiva.
8. Os corpos superior e inferior do forno são conectados por plugues de aviação, que são seguros, confiáveis e convenientes de conectar.
9. O conjunto do circuito de gás é feito de aço inoxidável 316 de qualidade alimentar, que possui resistência à corrosão, resistência à corrosão atmosférica e resistência a altas temperaturas, e não é magnético
10.Adote o instrumento de exibição de fluxo digital, coopere com o controlador de fluxo de massa, colete dados e controle o fluxo. Tem as características de boa repetibilidade, velocidade de resposta rápida, estabilidade e confiabilidade. (Sistema de controle de fluxo de massa de gás)
11.Controle automático e função de comutação de controle manual, o modo de controle automático pode abrir/fechar automaticamente a bomba de vácuo através do valor definido, de modo que o recipiente possa ser mantido dentro de uma certa faixa de pressão de vácuo. O modo de controle manual usa o usuário para operar diretamente a bomba de vácuo por meio do botão liga/desliga da bomba de vácuo. para atender às necessidades de diferentes experimentos. (Sistema de controle de vácuo médio)
12. A tecnologia de início lento da válvula solenóide faz com que a válvula solenóide abra 10 segundos após a bomba de vácuo ser ligada, de modo que a pressão do sistema no tubo do forno seja mantida precisa e também garante que o gás de exaustão não retorne ao forno sistema de tubo para afetar o efeito experimental (sistema de controle de vácuo médio)
Modelo | CVD-LTF12P50 | CVD-LTF12P60 | CVD-LTF12P80 | CVD-LTF12P100 |
CVD-LTF12T50 | CVD-LTF12T60 | CVD-LTF12T80 | CVD-LTF12T100 | |
CVD-LTF12P50S | CVD-LTF12P60S | CVD-LTF12P80S | CVD-LTF12P100S | |
CVD-LTF12T50S | CVD-LTF12T60S | CVD-LTF12T80S | CVD-LTF12T100S | |
Faixa de temperatura operacional | 300-1200°C | |||
resolução de temperatura | 1°C | |||
precisão de temperatura | ±1°C | |||
Taxa de aquecimento | 0-20°C/min | |||
Comprimento da zona de aquecimento | 420mm | |||
Comprimento da zona de temperatura constante | Zona de temperatura única: 210 mm; Zona de temperatura dupla: 280 mm | |||
vácuo máximo | -0.1MP3 | |||
Tempo de aquecimento do forno vazio | ≤15min | |||
Taxa de aquecimento ao configurar o tubo do forno | Abaixo de 500°C≤5°C/min; 500-800≤ 10°C/min; 800-1000≤5°C/min; 1000-1200≤2t°C/min | |||
Exterior | Chapas de aço laminadas a frio - revestimento de superfície resistente a produtos químicos | |||
corpo do forno | Fibra Mulita Policristalina | |||
Tamanho do forno | Externo: φ240-550mm; Interno: φ120*420mm | |||
tubo do forno | tubo de quartzo | |||
Tamanho do tubo do forno | φ50/43*1000 | φ 60/53*1000 | φ80/72*1000 | φ 100/92*1000 |
Aquecedor | Fio de liga de níquel-cromo-alumínio OCr27A17MO2 | |||
Potência de aquecimento | Zona de temperatura única: 3KW: Zona de temperatura dupla: 3,2KW | |||
Camada de isolamento térmico | Desvio de ar forçado de camada dupla | |||
caminho aberto | Clamshell back flip (cerca de 100 graus) | |||
Controlador | P: Visor digital de controle de temperatura do programa importado; T: controle de temperatura do programa de tela sensível ao toque colorida de 7 polegadas | |||
Método de controle | Usando o controle PID do microcomputador / controle de temperatura única de zona de temperatura dupla tipo S | |||
Definir tipo | P: toque em cinco botões para ação, configuração de exibição digital; T: Toque com o dedo e toque para definir | |||
Método de exibição | P: display digital LED de linha dupla; T: display LCD colorido | |||
Cronometragem | 0-999,9h | |||
Executar função | Operação de valor fixo. operação do programa | |||
Modo de programa | P: Programa rodando, 4 curvas, totalizando 40 passos; T: Máximo 50 passos, o programa armazenado pode ser chamado | |||
Sensor | termopar tipo K | |||
função auxiliar | P: Função de correção; T: função de correção, gravação de curva em tempo real, exportação de dados de disco U | |||
Equipamento de segurança | Interruptor de proteção contra vazamento de sobrecorrente | |||
Número de caminhos de ar | 3 canais (o número de canais de ar pode ser selecionado de acordo com necessidades específicas) | |||
Faixa de fluxo | 0-0500sccm (Padrão ml/min, opcional) Padrão de nitrogênio | |||
Precisão | ±1% F.S | |||
Tempo de resposta | ≤4s | |||
Temperatura de operação (medidor de vazão) | 5-45°C | |||
Pressão do trabalho | Pressão de entrada 0,05-0,3MPa (pressão manométrica) | |||
Conexão do sistema | Adote fole de conexão rápida KF, válvula manual de alto vácuo e instrumento de medição de vácuo com visor digital | |||
Faixa de vácuo do sistema | 10-100Pa | |||
Bomba de vácuo | O grau de vácuo máximo teórico da bomba mecânica de dois estágios é 3 × 10-1Pa, a taxa de bombeamento é 4L/S, a saída de ar é equipada com um filtro de óleo, a tensão nominal é 200V e a potência é 0,55Kw | |||
Configuração do sistema CVD | Forno de tubo de vácuo aberto de 1200 graus (zona de temperatura única opcional, zona de temperatura dupla) Sistema de controle de fluxo de massa multicanal Sistema de vácuo torcido | |||
Dimensões do corpo do forno | 980mm*400mm*600mm | |||
Dimensões do sistema | 770mm*580mm*778mm | |||
Peso total do sistema | 210kg | |||
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